氨質(zhì)譜檢漏儀是以氨氣作為示漏氣體，對真空設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便檢測迅速等特點是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器其測量工作原理如下。
氨質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氨氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。
質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間不同離子的質(zhì)荷比不同在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離在設(shè)計時只讓氨離子飛出分析器的縫隙打在收集器上。收集放大器收集氨離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。
近年來，隨著高真空檢漏技術(shù)科學領(lǐng)域的不斷發(fā)展和應用技術(shù)的日趨成熟，以及高真空檢漏儀器技術(shù)的不斷創(chuàng)新和進步儀器更新?lián)Q代很快。從技術(shù)性能、高可靠性、準確性、耐用性、靈活性和性價比等各方面都有著劃時代的進步，從而使高真空檢漏儀器從科學研究領(lǐng)域、實驗室的應用逐漸普及到工業(yè)和民用領(lǐng)域的應用。
氨質(zhì)譜檢漏技術(shù)是在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里應用廣泛的一種，這種檢漏方法的優(yōu)點是：檢漏靈敏度高（可以檢漏到10-12Pa·m3/s數(shù)量級）、儀器響應快、操作簡便、成本較低、用途廣泛等，所以氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應用。
氨質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)在真空檢漏領(lǐng)域里不僅能定位、定性、定量檢漏，且具有操作簡便、準確可靠、成本較低、用途廣泛等特點。采用這種檢漏技術(shù)無論從小件到大件從小系統(tǒng)到大系統(tǒng)檢漏從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，都能準確快捷有效。隨著氨質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟，未來將逐漸滲透到各個高低端行業(yè)領(lǐng)域應用前景廣闊因此值得推廣應用。
